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思儀科技推出500GHz多功能芯片測試解決方案
太赫茲技術正加速從實驗室走向商業應用,使得行業對太赫茲芯片測試的要求發生了根本性轉變:測試目標已不再局限于功能層面的“能用”,而是全面追求復雜真實場景中性能穩定、測試高效且成本可控的“好用”。
思儀科技研制出3601型S參數測試模塊、36102型探針、20501型校準片等系列產品,結合商業探針臺,國內首次推出最高頻率至500GHz的高穩定、多功能太赫茲芯片測試解決方案。

圖1 330GHz-500GHz頻段芯片測試儀
高頻
采用分頻段的方式,可將芯片測試頻率擴展至500GHz,能夠實現太赫茲芯片幅度、相位、群時延等參數精準測試。330GHz-500GHz頻段在片雙端口校準后,Thru校驗結果如圖2所示。

圖2 在片校準后Thru校驗結果
高穩定
該方案在500GHz頻段具有良好的幅度穩定性和相位穩定性,能夠適于晶圓級太赫茲芯片的研發驗證與量產測試。圖3為330GHz-500GHz頻段校準后,幅度和相位穩定性測試結果。

(a)幅度穩定性

(b)相位穩定性
圖3 穩定性測試結果
多功能
結合自主開發的多功能測試軟件算法,一次扎針可實現散射參數、功率參數的一體化測試,可大幅度提升晶圓級太赫茲芯片的測試效率和測試精度。圖4為某放大器芯片散射參數(小信號增益、回波損耗,隔離度)和功率參數(輸入功率、輸出功率)測試結果。

圖4 放大器性能測試結果
思儀科技持續關注半導體測試領域創新,除具備高頻測試能力之外,還具備多端口、超寬帶、調制解調等測試能力,已形成微波毫米波與太赫茲晶圓級芯片測試解決方案,可助您構筑穩定、高效的測試環境,解決您的在片測試難題!
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